[发明专利]等离子体点火装置,等离子体点火方法及等离子体发生装置

摘要

本发明的课题在于,提供不需要监视或不需要手工动作、能容易且确实地进行等离子体点火或再点火的等离子体点火技术。本发明的解决手段在于,等离子体点火装置包括高频电源装置(101),向用于使得发生等离子体的负载电极(114)供给所定的高频信号(HS)；匹配装置(105),使得高频电源装置侧和负载电极侧的阻抗匹配；前进波/反射波检测装置(102),检测高频信号(HS)的前进波及反射波；高压发生装置(103),发生所定的高压(HV)；以及控制装置(100),当反射波相对前进波的比率比第一阈值大场合,将高压HV叠加在高频信号(HS)上。

主权项

一种等离子体点火装置，向气体室供给用于使得等离子体点火的所定高频信号以及高压,上述等离子体点火装置包括:高频电源装置,向使得产生等离子体的负载电极供给所定的高频信号；高压发生装置,发生所定的高压；叠加线圈,将上述高压叠加在上述高频信号上；前进波/反射波检测装置,检测上述高频信号的前进波及反射波；匹配装置,使得上述高频电源装置侧和上述负载电极侧的阻抗匹配；以及控制装置,当上述反射波相对上述前进波的比率比所定阈值大场合,判断为等离子体没有点火，将上述高压叠加在上述高频信号上,当上述比率比上述所定阈值小场合，判断为等离子体点火,停止叠加上述高压；上述气体室包括:第一连接器(108),接受上述高频信号以及上述高压；负载电极,被施加上述高频信号以及上述高压；接地电极,是上述负载电极的对极,用于使得发生上述等离子体；电抗补正线圈,设在上述第一连接器(108)和上述负载电极之间；以及陶瓷管,包括第一端部和第二端部,上述负载电极配置在外部,上述接地电极配置在内部,从上述第一端部导入惰性气体,在内部发生等离子体,将发生的上述等离子体从上述第二端部向清洗对象照射。