[发明专利]一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法

摘要

本发明公开了一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法。首先将扫描的光栅图像进行图像宽度调整，使得图像宽度为光栅周期宽度的整数倍。其次对图像进行滤波，滤波采用图像傅里叶变换后幅值的次大值的1/8倍数作为滤波阈值，将图像傅里叶变换后幅值小于滤波阈值的部分滤掉。最后以傅里叶变换后幅值的次大值的1/4倍数作为评价阈值，幅值大于阈值部分之和与幅值小于阈值部分之和的比值作为最终评价指标。本发明的方法可以在无人工参与的情况下有效地将扫描探针显微镜扫描的光栅图像内的畸变量化，实现畸变的自动评估，从而有助于评价扫描算法的有效性，在探头损毁时，可以提醒用户更换探头。

主权项

一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法，包括以下步骤：步骤1，使用扫描探针显微镜采用接触或轻敲方式扫描得到原始图像，记为F1，对原始图像进行截取，使得截取后的图像宽度为光栅周期宽度的整数倍，记截取后图像为F2；其特征在于，步骤2，对截取后图像F2进行频域滤波：将图像F2进行图像傅里叶变换后幅值次大值的1/8倍数作为滤波阈值进行滤波，图像F2傅里叶变换后幅值小于滤波阈值的部分全部舍弃，滤波后图像记为F3；步骤3，对滤波后图像F3进行评价：将图像F3进行傅里叶变换后幅值次大值的1/4倍数作为评价阈值，图像F3傅里叶变换后幅值大于评价阈值部分之和与幅值小于评价阈值部分之和的比值作为最终评估指标。