[发明专利]主动元件及其制作方法在审
| 申请号： | 201510108450.7 | 申请日： | 2015-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN106033778A | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 王豪伟;江佳铭;赖枝文 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;H01L21/28;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种主动元件及其制作方法。主动元件包括一栅极、一栅绝缘层、一通道、一源极与一漏极。栅极配置于一基板上。栅绝缘层配置于基板上且覆盖栅极。栅绝缘层分为一第一区与一第二区。第一区具有均一的厚度，第二区具有均一的厚度，且第一区的厚度大于第二区的厚度。通道配置于栅绝缘层上。源极与漏极分别配置于栅绝缘层上且彼此分离。源极与漏极的分布位置与第一区的分布位置一致。通道接触源极与漏极。本发明可改善现有技术中馈通电压过大所造成的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 主动 元件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种主动元件，其特征在于，包括：栅极，置于基板上；栅绝缘层，置于所述基板上且覆盖所述栅极，所述栅绝缘层分为第一区与第二区，所述第一区具有均一的厚度，所述第二区具有均一的厚度，且所述第一区的厚度大于所述第二区的厚度；通道，置于所述栅绝缘层上；以及源极与漏极，分别置于所述栅绝缘层上且彼此分离，其中所述源极与所述漏极的分布位置与所述第一区的分布位置一致，所述通道接触所述源极与所述漏极。
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