[发明专利]悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置

摘要

本发明提供悬臂的振动特性测定方法以及悬臂的振动特性测定装置，不依据Q曲线的测定条件就能够高精度地测定扫描型探针显微镜的悬臂的振动特性即Q值。该悬臂的振动特性测定方法测定对扫描型探针显微镜(200)的悬臂(1)施加谐振频率f1(Hz)的振动时的该悬臂的振动振幅V，求出振动振幅V成为稳定振幅V0的0.90以上时的时间Th(秒)，利用下式1来算出Q值：Q值＝f1×Th (1)。

主权项

1.一种悬臂的振动特性测定方法，其中，测定对扫描型探针显微镜的悬臂施加谐振频率f1的振动时的该悬臂的振动振幅V，求出所述振动振幅V成为稳定振幅V0的0.90以上时的时间Th，其中，所述稳定振幅V0是设对所述悬臂施加所述谐振频率f1的振动经过时间TA后的振动振幅为VA，时间TA/2的振动振幅成为VA×0.95时的该振动振幅，利用下式( 1) 来计算Q值：Q值＝f1×Th  (1)，其中，频率的单位是Hz，时间的单位是秒。