[发明专利]一种机械手臂有效
| 申请号： | 201510110505.8 | 申请日： | 2015-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN106032014A | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李晨睿 | 申请（专利权）人： | 上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想能源设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种机械手臂，用于将基板传送至功能腔室内，所述机械手臂为一体加工的整体，设置于移动台上，所述机械手臂包括：承载部；根部，所述根部下表面中与移动台相互接触的部分为固定接触面，所述根部包括位于根部上侧且沿机械手臂方向截面为正立梯形的根部加强部，所述正立梯形上边的长度范围大于等于所述固定接触面的长度且小于等于所述正立梯形下边的长度，所述根部加强部的厚度大于等于所述承载部厚度的1.5倍且小于等于承载部厚度的2倍。本发明能提高悬臂结构的刚性和稳定性，减少下垂量，实现基板在满足尺寸和质量增加、运动空间减小、传送速度加快等严格传送条件下，仍能保证正常的传送工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 手臂 | ||
【主权项】：
一种机械手臂，用于将基板传送至功能腔室内，所述机械手臂为一体加工的一个整体，设置于承载其运输的移动台上，其特征在于：所述机械手臂包括：用于承载基板的承载部；用于固定连接所述移动台的根部，所述根部下表面中与移动台相互接触的部分为固定接触面，所述根部包括位于根部上侧且沿机械手臂方向截面为正立梯形的根部加强部，所述正立梯形上边的长度范围大于等于所述固定接触面的长度且小于等于所述正立梯形下边的长度，所述根部加强部的厚度大于等于所述承载部厚度的1.5倍且小于等于承载部厚度的2倍。
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