[发明专利]一种水质监测用自清洁膜传感器

摘要

本发明属于传感器技术领域，特别是涉及一种由TiO₂纳米纤维和石墨烯材料形成的自清洁膜的化学传感器。该传感器由加热电极、下绝缘层、硅片、上绝缘层、信号电极、敏感层、自清洁膜层、加热电极引线和信号电极引线组成。其中自清洁膜层通过静电纺丝在石墨烯材料上喷镀TiO₂纳米纤维形成。本发明的主要优点是：有效提高化学传感器长期浸泡在水中的工作稳定性，且工艺过程简单，成本低廉，且易于批量生产。本发明有望提高化学传感器作为光传感器的辅助，在水质监测系统中应用的可能性。

主权项

一种基于基于石墨烯与TiO₂自清洁膜的传感器，其特征在于：器件从下至上依次由加热电极(4)、下绝缘层(2)、硅片(1)、上绝缘层(3)、信号电极(5)、敏感层(6)、自清洁膜层(7)、加热电极引线(10)和信号电极引线(11)组成。