[发明专利]卫星材料表面的二次电子发射率的测量装置及其使用方法在审
| 申请号： | 201510112643.X | 申请日： | 2015-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN106033065A | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 杨垂柏;孔令高;张珅毅;张斌全;荆涛;关燚炳;曹光伟;梁金宝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间科学与应用研究中心 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 王宇杨;杨青 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种卫星材料表面的二次电子发射率的测量装置及使用此装置的方法。该测量装置包括：粒子枪、电子检测仪、法拉第杯、真空罐、转台和控制台，其中粒子枪用来输出测量过程中所需要的粒子束流，包括电子或离子；真空罐为测试提供真空腔体空间；转台安装于真空罐的底部，用来为待测材料样品和电子检测仪和粒子束流提供适当的配合位置；电子检测仪用来测量待测材料表面的二次电子的发射强度；法拉第杯用来测量入射粒子的强度；控制台用来对法拉第杯、电子检测仪进行数据采集，并控制待测材料样品的电位。 | ||
| 搜索关键词： | 卫星 材料 表面 二次电子 发射 测量 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种卫星材料表面的二次电子发射率的测量装置，包括：粒子枪、电子检测仪、法拉第杯、真空罐、转台和控制台，其中粒子枪用来输出测量过程中所需要的粒子束流，包括电子或离子；真空罐为测试提供真空腔体空间；转台安装于真空罐的底部，用来为待测材料样品和电子检测仪和粒子束流提供适当的配合位置；电子检测仪用来测量待测材料表面的二次电子的发射强度；法拉第杯用来测量入射粒子的强度；控制台用来对法拉第杯、电子检测仪进行数据采集，并控制待测材料样品的电位。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院空间科学与应用研究中心，未经中国科学院空间科学与应用研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510112643.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
