[发明专利]显微扫描平台、拍摄方法以及工作区域平面度校准方法

摘要

本发明公开了显微扫描平台、拍摄方法以及工作区域平面度校准方法，可在粗精度平台实现连续扫描。该方法主要是在工作区域建立扫描坐标系，通过平面公式A1X+B1Y+C1Z+D1＝0以及标准玻片确定载物台的工作区域的各个扫描点的平面度的修正值En。然后在实际样本玻片拍摄时，利用上述En确定每个扫描点的实际聚焦位置。这样就可以在镜头对每个扫描点进行拍摄之前快速调整到位。从而可在粗精度平台实现连续扫描。且扫描精度高，扫描效率高，拍摄的照片清晰。由于可在粗精度平台实现高精度连续扫描，显著降低了高精度扫描设备的制造成本。

主权项

显微扫描平台的拍摄方法，其特征在于：A、将载物台的工作区域沿X轴和Y轴划分成n个扫描点，形成扫描坐标系Sn(x，y)，n＝工作区域的面积/每幅照片对应的工作区域的面积；B、准备标准玻片，在扫描坐标系Sn(x,y)中选择3个点，所述3个点分别为Si(x，y)、Sj(x，y)和Sk(x，y)，在Si(x，y)、Sj(x,y)和Sk(x，y)处分别聚焦标准玻片，得到3个理论基点：P1(x，y，z)、P2(x，y，z)和P3(x，y，z)，其中，P1与Si对应，P2与Sj对应，P3与Sk对应，各个理论基点的Z坐标为Z轴上的实际聚焦位置，根据P1、P2和P3以及平面方程A1X+B1Y+C1Z+D1＝0计算出参数A1、B1、C1和D1；C、分别在扫描坐标系Sn(x,y)的各点处聚焦标准玻片，得到Zn，Zn为在扫描坐标系Sn(x,y)的各点位置聚焦标准玻片时在Z轴上的实际聚焦位置；D、将Sn(x,y)代入A1X+B1Y+C1Z+D1＝0，得到Zpn，Zpn是在扫描坐标系Sn(x,y)的各点位置聚焦标准玻片时在Z轴上的理论聚焦位置，然后计算En＝Zn‑Zpn，En为载物台的工作区域的各个扫描点的平面度的修正值；E、准备实际样本玻片，在扫描坐标系Sn(x，y)中选择3个点，所述3个点分别为Sm(x，y)、Sq(x，y)和Sg(x，y)，在Sm(x，y)、Sq(x，y)和Sg(x，y)处分别对实际样本玻片聚焦，得到3个点对应的zm、zq和zg，其中zm，zq和zg为聚焦时在Z轴上的实际聚焦位置，然后计算：zpm＝zm‑Em，zpq＝zq‑Eq，zpg＝zg‑Eg，其中，Sm与zpm对应，Sq与zpq对应，Sg与zpg对应，根据Sm、Sq、Sg、zpm、zpq、zpg以及平面方程A2X+B2Y+C2Z+D2＝0计算出参数A2，B2，C2和D2；F、对实际样本玻片拍摄时，确定需要拍摄的实际样本玻片的位置对应的扫描坐标系Sn(x,y)的扫描点St(x，y)，将St(x，y)代入A2X+B2Y+C2Z+D2＝0计算出Zpt,然后计算Zt＝Et+Zpt，按照Zt将镜头沿Z轴调整到位后进行拍摄。