[发明专利]一种实现可编程多波横向剪切干涉仪的方法

摘要

本发明公开了一种实现可编程多波横向剪切干涉仪的方法，包括步骤(1)确定灵敏度和动态范围要求；(2)确定工作模式，包括三波横向剪切干涉仪/四波横向剪切干涉仪/六波横向剪切干涉仪；(3)计算干涉仪所需的光栅复振幅透过率分布；(4)用纯相位空间光调制器生成多波横向剪切干涉仪的衍射光栅；(5)将图像传感器作为接收屏放置在出射光路上，经过纯相位空间光调制器反射的反射光在接收屏上相干叠加形成干涉条纹，对图像传感器探测得到干涉条纹进行计算获得波前斜率信息，进而复原波前；(6)通过编程改变工作模式，改变四波横向剪切干涉仪的灵敏度和动态范围；实现了测量动态范围和灵敏度可编程的功能，同时还为在三波、四波和六波横向剪切干涉仪之间的切换提供了便利。

主权项

一种实现可编程多波横向剪切干涉仪的方法，其特征在于，步骤如下：(1)确定灵敏度和动态范围要求；(2)确定工作模式，包括：三波横向剪切干涉仪/四波横向剪切干涉仪/六波横向剪切干涉仪；(3)计算干涉仪所需的光栅复振幅透过率分布；(4)用纯相位空间光调制器生成多波横向剪切干涉仪的衍射光栅；(5)将图像传感器作为接收屏放置在出射光路上，经过纯相位空间光调制器反射的反射光在接收屏上相干叠加形成干涉条纹，对图像传感器探测得到干涉条纹进行计算获得波前斜率信息，进而复原波前；(6)通过编程改变工作模式，改变四波横向剪切干涉仪的灵敏度和动态范围；所述步骤(3)所述计算干涉仪所需的光栅复振幅透过率分布步骤分别如下：四波横向剪切干涉仪的光栅复振幅透过率函数为：其中combd,d(x,y)为x方向和y方向周期都为d的二维梳状函数，a＝2d/3，为卷积符号，式中门函数三波横向剪切干涉仪的光栅复振幅透过率函数为：t'(x,y)＝exp[iΦ'(x,y)]      ②，其中Φ'(x,y)代表相位分布；式中函数hexa(x,y)为边长为a的六边形函数；为x方向周期为y方向周期为3a的梳状函数；六波横向剪切干涉仪的光栅复振幅透过率函数为：其中k为波数k＝2π/λ，f为微透镜焦距。