[发明专利]真空气相沉积反应法制备硅化石墨中延长石墨坩埚使用寿命的方法有效
| 申请号： | 201510116017.8 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN104692826B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 彭达鸿 | 申请（专利权）人： | 自贡市鸿飞电碳制品有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B32/21 | 分类号： | C01B32/21 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 643020 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空气相沉积反应法制备硅化石墨中延长石墨坩埚使用寿命的方法，1）首次使用石墨坩埚制备硅化石墨时，先将硅化反应原料分别均匀涂敷在石墨坩埚内表面和石墨基材表面，同时在石墨坩埚与石墨基材之间填充防黏剂；2）将放有石墨基材的石墨坩埚置于真空炉内，通过真空气相沉积反应法将石墨基材制备为硅化石墨，同时在石墨坩埚内表面形成均匀的碳化硅层；3）再次使用该石墨坩埚时，只需在石墨坩埚与石墨基材间填充防黏剂即可。本发明石墨坩埚的使用次数超过10次，延长了石墨坩埚使用寿命，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 沉积 反应 法制 化石 延长 石墨 坩埚 使用寿命 方法 | ||
【主权项】：
真空气相沉积反应法制备硅化石墨中延长石墨坩埚使用寿命的方法，其特征在于：步骤如下，1）首次使用石墨坩埚制备硅化石墨时，先将含纯硅和助剂的硅化反应原料分别均匀涂敷在石墨坩埚内表面和石墨基材表面，同时在石墨坩埚与石墨基材之间填充防黏剂，防黏剂为碳化硅粉或石墨粉或者两者任意比例的混合粉末；涂敷在石墨坩埚内表面的硅化反应原料其构成及配比为Si：SiC：水 = 85～99：0.5～5：0.5～1；2）将放有石墨基材的石墨坩埚置于真空炉内，通过真空气相沉积反应法将石墨基材制备为硅化石墨，同时在石墨坩埚内表面形成均匀的碳化硅层，冷却后清理除去石墨坩埚表面粘着的炭、硅附着物；3）再次使用该石墨坩埚时，只需在石墨坩埚与石墨基材间填充防黏剂即可。
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