[发明专利]产生布局图案的方法

摘要

本发明公开一种产生布局图案的方法，其包括下列步骤。提供起始布局，起始布局图案包括多条第一条状图案于第一群组区中，各第一条状图案沿第一方向延伸，且第一条状图案于第二方向上具有相同的节距。产生多条锚点带状图案，各锚点带状图案沿第一方向延伸，且锚点带状图案于第二方向上具有相同的节距。至少一条锚点带状图案于第二方向上的两边缘分别与两条相邻的第一条状图案的边缘对齐。至少一条锚点带状图案与两条相邻的第一条状图案之间的第一间隔重叠。在与锚点带状图案重叠的第一间隔处产生第一轴心图案，并将第一轴心图案输出至光掩模。

主权项

一种产生布局图案的方法，包括：提供一起始布局图案至电脑系统，其中该起始布局图案包括多条第一条状图案于一第一群组区中，各该第一条状图案沿一第一方向延伸，且该多条第一条状图案于一第二方向上具有相同的节距(pitch)；产生多条锚点带状图案，其中各该锚点带状图案沿该第一方向延伸，且该多条锚点带状图案于该第二方向上具有相同的节距，其中至少一条该锚点带状图案于该第二方向上的两边缘分别与两条相邻的该多条第一条状图案的边缘对齐，且至少一条该锚点带状图案与两条相邻的该多条第一条状图案之间的一第一间隔重叠；在与该锚点带状图案重叠的该第一间隔处产生一第一轴心图案；以及将该第一轴心图案输出至一光掩模。