[发明专利]一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备方法。本发明采用氧化锡、氧化锌作为导电层，三氧化钨、二氧化钛、氧化铜、氧化钴作为敏感层，同时采用钯、铂贵金属、硫化镉、锡化镉敏化剂对敏感层进行修饰制备得到气敏传感器。本方法采用叠层的形式将修饰后的气敏材料置于顶层，使其能与环境中的气氛进行充分的反应，提高气敏传感器的响应度；将具有较好导电性能的材料置于底层，使其将敏感层中电子浓度的变化迅速传递到外电路中，缩短气敏传感器的响应与恢复时间。因此采用本方法可以大幅提升气敏传感器的性能。

主权项

一种气敏传感器，包括基板和电极，其特征在于，在基板上依次叠置有导电层和敏感层，形成有序的叠层结构；所述电极置于基板上且位于所述导电层两端，所述敏感层作为气敏响应反应的场所，敏感层内掺杂有由敏化剂形成的敏化点，敏化剂对敏感层进行修饰，以提高气敏传感器的敏感度和响应恢复时间；导电层材料的电导率高于敏感层，使得敏感层发生气敏反应后产生的电子浓度的变化通过导电层快速传递给外电路，提高敏感层的气敏反应速度；同时敏感层与导电层不同材料之间形成的异质结可以提高电荷分离的效果，有利于提升气敏反应。