[发明专利]一种带有边缘通道的新型阵列波导光栅及其平坦化方法在审
申请号: | 201510119195.6 | 申请日: | 2015-03-18 |
公开(公告)号: | CN106154414A | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 吕耀安;翟继鑫 | 申请(专利权)人: | 无锡宏纳科技有限公司 |
主分类号: | G02B6/124 | 分类号: | G02B6/124 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种带有边缘通道的新型阵列波导光栅及其平坦化方法,其阵列波导光栅,包括:阵列波导光栅核心组件,所述阵列波导光栅核心组件包括中间区域为光栅区域的阵列波导光栅芯片,该阵列波导光栅还包括:位于所述阵列波导光栅芯片的光栅区域背面的加热电极,所述加热电极与所述光栅区域的基材直接接触,所述加热电极在通电时产生热量。本发明所提供的阵列波导光栅,加热电极直接集成在阵列波导光栅芯片的光栅区域上,使阵列波导光栅的体积减小、结构简化;同时通过调整阵列波导光栅的输出罗兰圆的曲率半径,同时调整非中心输出波导的角度及其在输出罗兰圆上的位置,可实现阵列波导光栅边缘通道输出响应平坦化,且可提高各通道间损耗均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 边缘 通道 新型 阵列 波导 光栅 及其 平坦 方法 | ||
【主权项】:
一种带有边缘通道的新型阵列波导光栅及其平坦化方法,包括:阵列波导光栅核心组件,其特征在于:所述阵列波导光栅核心组件包括中间区域为光栅区域的阵列波导光栅芯片,该阵列波导光栅还包括:位于所述阵列波导光栅芯片的光栅区域背面的加热电极,所述加热电极与所述光栅区域的基材直接接触,所述加热电极在通电时产生热量。
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