[发明专利]一种SAW温度传感器的结构及制作方法在审
| 申请号： | 201510119683.7 | 申请日： | 2015-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN106159078A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 中科鼎源(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型SAW(声表面波)温度传感器的结构及制作方法。所述传感器包括：位于底层的压电衬底材料；位于衬底材料之上的传感器叉指电极；位于叉指电极同一层，在叉指电极周围的氧化区域；位于叉指电极及电极周围氧化区域之上的二氧化硅保护层。其特点在于，采用谐振型工作方式，其叉指电极的制作采用氧化工艺，实现减弱谐振器发射端频率响应的改善。同时，在电极之上制作了SiO2(二氧化硅)保护薄层，防止了电极材料的氧化。本发明通过制备声表面波温度传感器，可以适用于恶劣环境下对物体的温度无线监测，可在无源无线情况下工作，具有性能稳定、使用寿命长、适用范围广等突出优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 saw 温度传感器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
一种SAW温度传感器结构，其特征在于，包括：位于底层的衬底材料；位于衬底材料之上的传感器叉指电极；位于叉指电极同一层，在叉指电极周围的氧化区域；位于叉指电极及电极周围氧化区域之上的二氧化硅保护层。
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