[发明专利]一种用于软X射线聚焦的抛物面型掠入射光学镜头

摘要

本发明提出一种用于软X射线聚焦的抛物面型掠入射光学镜头，包括抛物面镜片、光阑组件、镜筒、前挡板、后挡板、热控组件、前准直环组件、定位销、定位销压圈；所述抛物面镜片的内表面镀铱膜；定义镜头接收入射光线端为前端；所述光阑组件包括前光阑、中光阑、后光阑、支撑柱和光阑压板。利用超光滑的内抛物面镜片对X射线光子进行掠入射反射聚焦，抛物面镜片的内表面镀铱膜，以提高反射率，采用三个光阑限制视场，消减杂散光，前准直环组件减小热损失，热控组件主动加热，二者共同提供稳定的热环境，保证光学性能的稳定性，镜筒为抛物面镜片和光阑组件提供支撑作用，并提供外部接口和前准直环组件的接口。本发明具有结构简单、抗杂散光干扰、容易实现等优点。

主权项

一种用于软X射线聚焦的抛物面型掠入射光学镜头，包括抛物面镜片(13)、光阑组件、镜筒(1)、前准直环组件，其特征在于：还包括前挡板(7)、后挡板(16)、热控组件(3)、定位销(20)、定位销压圈(15)；所述抛物面镜片(13)的内表面镀铱膜；定义镜头接收入射光线端为前端；所述光阑组件包括前光阑(10)、中光阑(14)、后光阑(18)、支撑柱(12)和光阑压板(11)，前光阑(10)、中光阑(14)、后光阑(18)均各自配有两个光阑压板(11)，光阑压板(11)位于光阑两侧并将光阑压紧后固定安装在支撑柱(12)上；前挡板(7)通过螺钉安装于镜筒(1)前端，提供镜头的安装接口；所述镜筒(1)为筒状结构，前光阑(10)的前光阑压板(9)与前挡板(7)固定安装；后光阑(18)的后光阑压板(17)的外圆周开有凹槽，镜筒(1)后端的内圆周开有凹槽，通过定位销(20)实现后光阑压板(17)与镜筒(1)的周向定位，定位销压圈(15)安装于镜筒(1)后端，对定位销(20)实施压紧；抛物面镜片(13)为圆筒形结构，外表面为圆柱面，内表面为抛物面，且圆柱面的轴线与抛物面的轴线同轴；抛物面镜片(13)前端口径大，后端口径小，且端面均为平面；抛物面镜片(13)内套于镜筒(1)内部；后挡板(16)通过螺钉安装于镜筒(1)后端，提供外部安装接口，后光阑压板(17)与抛物面镜片(13)的后端面贴合，同时后光阑压板(17)与后挡板(16)固定安装，实现光阑组件轴向定位；中光阑(14)位于抛物面镜片(13)的轴向中间位置；前准直环组件包括外壳(2)和内部挡板(8)，内部挡板(8)的主体为圆筒结构，圆筒外部在轴向方向上均匀布置三个相同的环状板，每个环状板上各开有允许入射光线通过的环状槽；外壳(2)为圆筒结构，一端与内部挡板(8)的一端固定，另一端与镜筒(1)前端固定，使内部挡板(8)与镜筒(1)之间相对位置固定；热控组件(3)包括缠绕于镜筒(1)外表面的线圈和温度传感器，线圈对镜筒(1)进行加热，温度传感器测量温度，实现镜筒(1)和抛物面镜片(13)的温度控制。