[发明专利]用于基板镀膜的工艺方法在审
| 申请号： | 201510120972.9 | 申请日： | 2015-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN104694882A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;迈克尔·哈尔;王伟;希尔玛·里赫特;斯特凡·伯瑟特;拉尔夫·施托伊登;斯特芬·格奥尔格;塞巴斯蒂安·蒂特尔;维纳·沙德 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200061 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 提供了一种用于平板形基板镀膜的方法，尤其是用于太阳能电池制造用玻璃基板的镀膜。所述方法包含以下：将在传送轴上穿过加热腔和镀膜腔的运动基板在上侧面和下侧面上不同强度地受热，从而能提高镀膜温度，而不会因软化使得玻璃基板不能再操作。描述了如下装备，该装备适用于实施所述方法，并且该装备具有带独立的加热系统以及传送系统的加热腔和镀膜腔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 镀膜 工艺 方法 | ||
【主权项】：
一种用于基板镀膜的方法，所述基板(1)呈平板形，其特征在于，如下步骤：a)使得所述基板受热到转变温度；b)与a)同时和/或随后地，使得所述基板的下侧比所述基板的上侧受热到更高的温度；及c)将至少一种镀膜材料蒸镀到所述基板上。
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