[发明专利]表面处理头

摘要

一种表面处理头包括限定内孔的第一本体；以及限定外孔的支撑本体，所述外孔围绕内孔，并且支撑本体是相对于第一本体可移动的以允许在内孔和外孔之间的沿大体上竖直方向的相对运动；其中所述表面处理头还包括设置在第一本体和支撑本体之间的波纹管密封部，其维持第一本体和支撑本体之间的大体上气密密封而不论它们的相对位置和运动如何。

主权项

一种表面处理头，包括：第一本体，其限定内孔；以及支撑本体，其限定外孔，所述外孔围绕所述内孔，并且所述支撑本体相对于所述第一本体是可移动的以允许在所述内孔和所述外孔之间的沿大体上竖直方向的相对运动；其中，所述表面处理头还包括设置在所述第一本体和所述支撑本体之间的波纹管密封部，所述波纹管密封部维持所述第一本体和支撑本体之间的基本气密密封而不论所述它们的相对位置和运动如何，其中当所述第一本体和支撑本体在第一相对位置时所述外孔在竖直方向上处于所述内孔之上，并且当所述第一本体和支撑本体在第二相对位置时，所述外孔在竖直方向上处于所述内孔之下，其中表面处理头还包括偏置装置，所述偏置装置用于将所述第一本体和支撑本体的一个或多个偏置进入偏置位置中，所述偏置位置为所述第一或第二相对位置中的一个。