[发明专利]节能型真空管排气工艺方法

摘要

本发明公开了节能型真空管排气工艺方法，本发明在抽真空过程中，加热器一直在逐渐升高温度，温度的升高与真空度的提高同步进行，优化了温度与真空度之间的配合，缩短了工时，保温温度设定逐次提高与真空度提高同时进行，温度梯度小，防止和减少膜层氧化，避免膜层分子迁移变色。让真空管寿命大为延长。

主权项

一种节能型真空管排气工艺方法，其特征是：其包括如下步骤：1).开启加热器预热，温度设定在50℃，每隔一分钟加热器的温度设定调高20℃，同时开启机械泵预抽真空；2).10分钟至14分钟后，关闭机械泵，同时开扩散泵；3).当加热温度达到400℃至440℃时，加热器保温10分钟至15分钟，同时扩散泵继续抽真空至10E‑4 ~10E‑3Pa；4).封离排气嘴；5).关闭加热器，降温；6).蒸散吸气剂，起蒸时间为4至6秒，总蒸时间为14至16秒，蒸散频率在340 KHz至380KHz；7).收尾。