[发明专利]一种真空管排气工艺方法在审
| 申请号： | 201510123835.0 | 申请日： | 2015-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN106032947A | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 陈跃跃 |
| 主分类号： | F24J2/46 | 分类号： | F24J2/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 211600 江苏省淮*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空管排气工艺方法，该方法包括如下步骤：首先开启机械泵预抽真空至10 Pa以下，开启加热器，并保温，温度设定在200℃，不停泵，继续抽真空至10E-1~1 Pa；然后关闭机械泵，同时开扩散泵，加热温度设定调高至400℃；保温20~30分钟，抽真空至10E-4 ~10E-3Pa并观察有无漏气；接着关闭加热器，降温；封离排气嘴；最后蒸散吸气剂，收尾工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空管 排气 工艺 方法 | ||
【主权项】：
一种真空管排气工艺方法，其特征是：其包括如下步骤：1).开启机械泵预抽真空至10 Pa以下，开启加热器预热，并保温，温度设定在180℃至220℃，不停泵，继续抽真空至10E‑1~1 Pa；2).关闭机械泵，同时开扩散泵，加热温度设定调高至380℃至420℃；3).保温20~30分钟，抽真空至10E‑4 ~10E‑3Pa；4).关闭加热器，降温；5).封离排气嘴；6).蒸散吸气剂，起蒸时间为4至6秒，总蒸时间为14至16秒，蒸散频率在340 KHz至380KHz；7).收尾。
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