[发明专利]一种对位机构以及设有该对位机构的曝光机

摘要

本发明公开了一种对位机构，包括基座组件以及对位支架和角度调节装置，所述角度调节装置设置在所述基座组件上，所述角度调节装置包括推动装置和用于驱动所述推动装置平移的第一驱动装置，所述第一驱动装置包括直线电机组件和光栅组件，所述光栅组件包括光栅尺、安装支架和光栅尺读数头，所述光栅尺读数头与推动装置相连并与推动装置移动方向平行设置，所述安装支架与基座组件相连，所述光栅尺设置在所述的安装支架上；还公开了一种曝光机，包括曝光机主体、光源装置、控制系统以及对位机构，所述对位机构安装在曝光机主体上。本发明的曝光机通过该对位机构自动调节安装位置，结构简单，稳定性好，调节精度高。

主权项

一种对位机构，包括基座组件(100)以及可转动设置在基座组件(100)上的对位支架(200)，其特征在于：还包括调节对位支架(200)相对基座组件(100)转动的角度调节装置(300)，所述角度调节装置(300)设置在所述基座组件(100)上，所述角度调节装置(300)包括推动装置(301)和用于驱动所述推动装置(301)平移的第一驱动装置(302)，所述第一驱动装置(302)包括直线电机组件(1)和光栅组件(2)，所述光栅组件(2)包括光栅尺(21)、安装支架(22)和光栅尺读数头(23)，所述光栅尺读数头(23)与推动装置(301)相连并与推动装置(301)移动方向平行设置，所述安装支架(22)与基座组件(100)相连，所述光栅尺(21)设置在所述的安装支架(22)上；还包括驱动所述基座组件(100)和对位支架(200)一并沿Y方向移动的第一移动装置(400)和一并沿X方向移动的第二移动装置(500)以及连接第一移动装置(400)和第二移动装置(500)的连接基板(600)，所述第一移动装置(400)与所述基座组件(100)相连，所述连接基板(600)设置在所述第一移动装置(400)上方，所述第二移动装置(500)设置在所述连接基板(600)上方；所述第一移动装置(400)包括至少两对第一滑动组件(401)以及驱动所述基座组件(100)和对位支架(200)一并沿Y方向移动的第二驱动装置(6)，所述第一滑动组件(401)包括与基座组件(100)相连的滑块一(4011)、与滑块一(4011)相配合的并连接在所述连接基板(600)底部的导轨一(4012)，所述导轨一(4012)包括两个导槽一(4013)，所述滑块一(4011)设有两个导向块一(4014)，滑动时，通过两个导向块一(4014)嵌入到导槽一(4013)；所述连接基板(600)包括连接基板本体(601)以及自连接基板本体(601)的侧部延伸的连接部四(602)；所述第二移动装置(500)包括至少一对设置在连接基板本体(601)上的第二滑动组件(501)和至少两对设置在连接部四(602)上的第三滑动组件(502)以及驱动所述基座组件(100)和对位支架(200)一并沿X方向移动的第二驱动装置(6)，所述第二滑动组件(501)和第三滑动组件(502)呈平行设置，所述第二滑动组件(501)包括至少一个与连接基板本体(601)相连的滑块二(5011)和与滑块二(5011)相配合的导轨二(5012)，所述第三滑动组件(502)包括与连接部四(602)相连的滑块三(5021)和与滑块三(5021)相配合的导轨三(5022)；所述第二驱动装置(6)包括驱动器(61)、与驱动器(61)输出端相连的轴体结构(62)、设置在轴体结构(62)上的第一定位装置(63)、推动件(67)、套设在轴体结构(62)上并与所述推动件(67)顶压连接的至少一个转动体二(64)以及套设在轴体结构(62)上并与所述的推动件(67)相连的第二平衡装置(65)和至少两组轴承组件(66)；所述轴体结构(62)包括第一轴段(621)、第二轴段(622)和第三轴段(624)以及设置在第一轴段(621)与第二轴段(622)之间的凸台(623)，所述第一轴段(621)上与驱动器(61)输出端相连的一端为外螺纹结构，所述第二轴段(622)为偏心轴结构，所述轴体结构(62)为一体结构；所述驱动器(61)输出端与第一轴段(621)相连，所述第一定位装置(63)套设在第一轴段(621)上，所述转动体二(64)和第二平衡装置(65)套设在第二轴段(622)上。