[发明专利]酸洗缓蚀剂用组合物及其应用以及对设备进行酸洗的方法

摘要

本发明涉及工业化学清洗领域，公开了一种酸洗缓蚀剂用组合物及其应用以及对设备进行酸洗的方法。所述组合物含有离子液体、肼型缓蚀剂、脲型缓蚀剂和选择性含有的苯并杂环型缓蚀剂，各组分重量比为1:0.03‑6.5:0.03‑6.5:0‑1，所述离子液体的结构如下式(I)或式(II)所示，其中，R₁、R₂、R₃和R₄选自C₁‑C₁₈的直链烷基、‑(CH₂)_m‑Ph、‑(CH(CH₃)CH₂O)_nH或‑(CH₂CH₂O)_nH；m为0‑5的自然数；n为1‑10的自然数；R₅为C₈‑C₁₈的直链烷基。本发明还公开了对设备进行酸洗的方法，包括将酸洗液与设备的待酸洗部位进行接触，所述酸洗液含有所述酸洗缓蚀剂用组合物和酸。此外，本发明还公开了所述缓蚀剂用组合物在设备的酸洗中的应用。本发明的酸洗缓蚀剂用组合物化学性质稳定，对环境友好，适应性广，缓蚀性能强。

主权项

1.一种酸洗缓蚀剂用组合物，其特征在于，该酸洗缓蚀剂用组合物含有离子液体、肼型缓蚀剂、脲型缓蚀剂和选择性含有的苯并杂环型缓蚀剂，所述离子液体、肼型缓蚀剂、脲型缓蚀剂和苯并杂环类缓蚀剂的重量比为1:0.03‑6.5:0.03‑6.5:0‑1，所述离子液体的结构如下式(I)或式(II)所示：其中，R1、R2、R3和R4各自独立地选自C1‑C18的直链烷基、‑(CH2)m‑Ph、‑(CH(CH3)CH2O)nH或‑(CH2CH2O)nH；m为0‑5的自然数；n为1‑10的自然数；R5为C8‑C18的直链烷基。