[发明专利]基于硅基纳米线的太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于硅基纳米线的太阳能电池，包括依次叠层连接的背电极、硅衬底、扩散结构层、纳米线阵列、钝化层以及正面电极；其中，所述硅衬底具有一金字塔型绒面，所述扩散结构层位于所述金字塔型绒面上，所述扩散结构层与所述硅衬底形成PN结；所述纳米线阵列通过在所述金字塔型绒面上刻蚀形成，每一纳米线包括掺杂类型相同的底部纳米线和顶部纳米线，其中，顶部纳米线比底部纳米线具有更高的掺杂浓度。本发明还公开了如上所述太阳能电池的制备方法。该太阳能电池中的纳米线阵列具有分级结构，可获得较低反射率的电池，同时可有效降低纳米线长度，有利于钝化层覆盖，降低光生载流子表面复合概率。

主权项

一种基于硅基纳米线的太阳能电池，包括依次叠层连接的背电极、硅衬底、扩散结构层、纳米线阵列、钝化层以及正面电极；其特征在于，所述硅衬底具有一金字塔型绒面，所述扩散结构层位于所述金字塔型绒面上，所述扩散结构层与所述硅衬底形成PN结；所述纳米线阵列通过在所述金字塔型绒面上刻蚀形成，每一纳米线包括掺杂类型相同的底部纳米线和顶部纳米线，其中，顶部纳米线比底部纳米线具有更高的掺杂浓度。