[发明专利]手动探针结构

摘要

本发明涉及基板生产技术领域，公开了一种手动探针结构，包括机架、可滑动地设于机架的桶架和可滑动地设于桶架上的精密定位器，精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于镜头座的镜盘，镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；探针悬臂的前端设有针头，针头位于镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应。本发明在选择镜头时，仅需要手动转动镜盘切换镜头，省时省力，方便快捷，定位准确，可满足不同倍率条件下的测试点寻找需求，提高检测效率。

主权项

1.一种手动探针结构，其特征在于，包括机架、可滑动地设于所述机架的桶架和可滑动地设于所述桶架上的精密定位器，所述精密定位器设有调节旋钮、镜头/探针调节切换钮和可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，所述镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，所述轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于所述镜头座的镜盘，所述镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；所述探针悬臂的前端设有针头，所述针头位于所述镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应，在调节过程中，使用者通过眼睛透过所述镜头观察所述针头，同时调节所述调节旋钮实现对所述镜头悬臂和所述探针悬臂的调整，同时根据需要转动所述镜盘，直至所述镜头能够准确观察到所述针头，满足不同倍率条件下的测试点寻找需求，所述探针悬臂与所述轮盘式倍率镜头模块之间设有弹性连接组件，所述弹性连接组件包括磁性定位盘和探针固定盘，所述磁性定位盘固定于所述镜头座，所述探针固定盘可与所述磁性定位盘磁性吸合连接，所述探针固定盘通过弹性件与所述探针悬臂相连接，且所述弹性件的弹性力小于所述磁性定位盘与探针固定盘之间吸合力。