[发明专利]一种高灵敏度的声表面波加速度传感器有效
| 申请号： | 201510125662.6 | 申请日： | 2015-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN104764902B | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王文;黄杨青;刘鑫璐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种高灵敏度的加速度传感器。该传感器包括压电基片、质量振子和基座，所述基座和质量振子上均设有凹槽，所述压电基片的固定端粘于基座上的凹槽内，所述压电基片的自由端粘于质量振子的凹槽内；所述压电基片固定端的上表面从左至右依次置有第一双端谐振器和第二双端谐振器，第一双端谐振器完全置于由基座支撑的压电基片上，第二双端谐振器的1/2区域置于由基座支撑的压电基片上，第二双端谐振器另外的1/2区域置于悬空的压电基片上，以使第二双端谐振器中心区域置于压电基片受应力最大的位置，提高加速度传感器的灵敏度。本发明的加速度传感器1g的加速度变化对应27kHz频率差值变化，因而分辨率可达0.01mg，属于高灵敏度的加速度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 表面波 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种高灵敏度的声表面波加速度传感器，包括压电基片、质量振子和基座，其特征在于，所述基座和质量振子上均设有凹槽，所述压电基片的固定端粘于所述基座上的凹槽内，所述压电基片的自由端粘于所述质量振子的凹槽内；所述压电基片固定端的上表面从左至右依次设置有第一双端谐振器和第二双端谐振器，第一双端谐振器完全置于由所述基座支撑的压电基片上，第二双端谐振器的1/2区域置于由所述基座支撑的压电基片上，第二双端谐振器另外的1/2区域置于悬空的压电基片上，以使第二双端谐振器中心区域置于压电基片受应力最大的位置，提高加速度传感器的灵敏度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院声学研究所，未经中国科学院声学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510125662.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
