[发明专利]感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件

摘要

本发明是有关一种感光聚硅氧烷组合物、由其所制得的保护膜及具有该保护膜的元件。所述感光聚硅氧烷组合物包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)以及溶剂(C)。所制得的保护膜具有良好的透光率及感度，可用于形成薄膜电晶体基板用的平坦化膜、保护膜或光波导路的芯材或包覆材。

主权项

一种感光性聚硅氧烷组合物，包含：聚硅氧烷高分子(A)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；以及溶剂(C)，其中该聚硅氧烷高分子(A)为硅烷单体组分聚缩合的共聚物，且该硅烷单体组分包含具有如下式(I‑1)及下式(I‑2)所示的结构的硅烷单体：Si(R^a)_Z(OR^b)_4‑Z  式(I‑1)于式(I‑1)中，R^a代表氢原子、碳数1至10的烷基、碳数2至10的烯基、碳数6至15的芳基、含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基，且多个R^a为相同或不同；R^b代表氢原子、碳数1至6的烷基、碳数1至6的酰基或碳数6至15的芳基，且多个R^b为相同或不同；Z代表1至3的整数；Si(OR^c)₄  式(I‑2)于式(I‑2)中，R^c代表氢原子、碳数1至6的烷基、碳数1至6的酰基或碳数6至15的芳基，且多个R^c为相同或不同；基于所述聚硅氧烷高分子(A)的使用量为100重量份，所述邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的使用量为10重量份至50重量份。