[发明专利]一种Sb-Te-Cr相变材料、相变存储器单元及其制备方法在审
| 申请号： | 201510131301.2 | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN104716260A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 王青;刘波;夏洋洋;张中华;宋三年;宋志棠;封松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种Sb-Te-Cr相变材料、相变存储器单元及其制备方法，所述Sb-Te-Cr相变材料的化学通式为SbxTeyCr100-x-y，其中x、y均指元素的原子百分比，且满足30<x<45，40<y<100-x。本发明提供的用于相变存储器的Sb-Te-Cr新型相变材料，在外部能量的作用下，能够实现高电阻态与低电阻态之间的可逆转变；其作为相变存储器的存储介质时，相变存储单元不仅具有相变速度快、写操作电流低等优点，而且器件的高温数据保持力及可靠性都得到了提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sb te cr 相变 材料 存储器 单元 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于相变存储器的Sb‑Te‑Cr相变材料，其特征在于：所述Sb‑Te‑Cr相变材料的化学通式为SbxTeyCr100‑x‑y，其中x、y均指元素的原子百分比，且满足30<x<45，40<y<100‑x。
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