[发明专利]复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510134205.3 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104692318A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 丑修建;陈晓勇;熊继军;穆继亮;安坤;李惠琴 | 申请（专利权）人： | 丑修建 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;C06C9/00;C06B27/00 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器及其制备方法，该点火器自下而上依次包括SiO2底层、腔层、防漏SiO2层、二次辐射层、绝缘SiO2层、下电极Au层、CuO层、Al层和上电极Au层。SiO2底层、腔层、防漏SiO2层和二次辐射层构成类黑体聚能结构；腔层中腔的结构为中空锥形以汇聚能量、减少器件整体热容和使二次辐射层悬浮起来。CuO层和Al层构成含能金属桥膜。本发明增加类黑体聚能结构后，减少了含能金属桥膜MEMS点火器的热耗散，提高了点火输出；也缩短了热积累时间，从而减少点火延迟时间，提高了点火瞬发性；另外微加工实现容易，利于其集成。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 黑体 结构 金属 mems 点火器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
复合类黑体聚能结构的含能金属桥膜MEMS点火器，其特征在于，自下而上依次包括SiO2底层(1)、腔层(2)、防漏SiO2层(3)、二次辐射层(4)、绝缘SiO2层(5)、下电极Au层(6)、CuO层(7)、Al层(8)和上电极Au层(9)，SiO2底层(1)、腔层(2)、防漏SiO2层(3)、二次辐射层(4)构成类黑体聚能结构；腔层(2)由半导体硅构成，其有中空锥形以汇聚能量；CuO层(7)、Al层(8)构成含能金属桥膜。
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