[发明专利]一种热色智能薄膜退火的监控系统和方法

摘要

本发明公开了一种热色智能薄膜退火的监控系统，利用氧化钒热色智能膜退火前后，即退火之前的前躯体膜与彻底完成退火后能够实现相变功能的膜层相比，尤其在近红外以及中红外的透过率具有大幅度的变化特点，以及较为特定的透过率的变化情况进行膜层晶化状态的实时监控。本发明所提供的测试分析系统适用于氧化钒热色智能薄膜沉积在具有一定透光性的基片上，然后采用辐射式加热的快速退火，尤其适用于真空系统中的退火。

主权项

1.一种热色智能薄膜退火的监控系统，其特征是：包括退火实施装置、至少一个探测光源和至少一个与所述探测光源对应的探测光源接收装置；沿光束的前进方向在所述探测光源的末端设有准直防干扰管，所述准直防干扰管的末端形成有探测光源限光小孔，所述准直防干扰管内安装光束扩束组件；所述退火实施装置内设有涂覆有热色智能薄膜的基片和对基片进行加热并位于热色智能薄膜上方的退火热源；所述探测光源接收装置包括接收探头和计算机系统，所述接收探头与计算机系统数据连接；所述探测光源处于热色智能薄膜的上方或下方，所述探测光源处于热色智能薄膜的上方时，所述探测光源的波段与所述退火热源的波段错开或者所述接收探头前端设置有供探测光源能够通过的窄波段的滤光片；所述探测光源发出的光束照射在基片上，该光束穿透基片并被所述接收探头接收，然后所述接收探头将该光束穿透基片的透过率传输至计算机系统，所述计算机系统对该透过率进行数据处理，产生一用于控制退火实施装置的工作状态的控制信号，控制退火实施装置的工作状态。