[发明专利]一种阵列基板检测方法和检测系统

摘要

本发明公开了一种阵列基板检测方法和检测系统，用以在对阵列基板进行像素检测之前，对该阵列基板进行颗粒检测，以避免阵列基板上的大颗粒对调节器造成损伤。所述系统包括电荷藕合器件图像传感器CCD、调节器、光信号处理装置、对焦装置和阵列基板，其中：光信号处理装置，设置于光源和调节器之间，用于向调节器传送光源发射的光信号；以及向CCD反射调节器反射的光信号；调节器，用于在对阵列基板包含的指定区域进行颗粒检测时，向光信号处理装置反射光信号；CCD，用于接收光信号处理装置反射的光信号；并将接收到的光信号传送至对焦装置；对焦装置，用于根据接收到的光信号的对焦行程确定对当前检测区域的颗粒检测是否通过。

主权项

一种阵列基板检测系统，其特征在于，包括电荷藕合器件图像传感器CCD、调节器、光信号处理装置、对焦装置和阵列基板，其中：所述光信号处理装置，设置于光源和调节器之间，用于向调节器传送所述光源发射的光信号；以及向所述CCD反射所述调节器反射的光信号；所述调节器，用于在对所述阵列基板包含的指定区域进行颗粒检测时，向所述光信号处理装置反射光信号；所述CCD，用于接收所述光信号处理装置反射的光信号；并将接收到的光信号传送至所述对焦装置；所述对焦装置，用于根据接收到的光信号的对焦行程确定对当前检测区域的颗粒检测是否通过。