[发明专利]基体辅助下的等离子体表面进样激发光谱检测系统

摘要

本发明公开一种基体辅助下的等离子体表面进样激发光谱检测系统，包括载气系统、微波源系统、进样系统、微波诱导等离子激发源、对微波诱导等离子激发源发出的检测光进行收集、传输、分光、检测的检测系统，以及对检测系统的输出信号进行分析处理的数据处理系统；载气系统与微波诱导等离子激发源的气体放电管进口连接，数据处理系统的信号输入端与检测系统的信号输出端连接，微波诱导等离子激发源通过微波传输线与微波源系统连接。本发明采用表面进样方式进行元素分析，系统构成小型化，生产稳定性好、灵敏度高、装置简洁、操作简便、样品消耗量小、分析速度快、能耗低、耗气量小。

主权项

1.一种基体辅助下的等离子体表面进样激发光谱检测系统，其特征在于：包括载气系统、微波源系统、进样系统、微波诱导等离子激发源、对微波诱导等离子激发源发出的检测光进行收集、传输、分光、检测的检测系统，以及对检测系统的输出信号进行分析处理的数据处理系统；所述载气系统与微波诱导等离子激发源的气体放电管进口连接，所述数据处理系统的信号输入端与检测系统的信号输出端连接，所述微波诱导等离子激发源通过微波传输线与微波源系统连接；所述微波诱导等离子激发源包括具有圆柱管腔的基体件、用于调节微波耦合的主调节件和安装在气体放电管外用于将微波耦合到气体放电管内放电气体上的微波天线，基体件腔底设置安装孔，所述主调节件包括环形塞盘、与环形塞盘连接的中空的主调节杆，所述环形塞盘与主调节杆的一端连接，所述主调节杆的另一端连接主调节手柄，所述环形塞盘与圆柱管腔的内壁滑动配合，所述气体放电管轴向穿过主调节杆和安装孔，所述基体件设置有支撑件，所述主调节杆的外表面与支撑件的端部适配，所述微波天线的耦合件位于环形塞盘与圆柱管腔的腔底之间的气体放电管上，并通过微波传输线与微波源系统的微波发生器连接；所述进样系统包括样品板和样品基体，所述样品基体固定在样品板上，所述样品板的材质为耐高温材料，所述样品基体的材质为易燃吸水性材料；所述的微波诱导等离子激发源安置在垂直旋转台上，所述垂直旋转台的旋转范围为0～90°，垂直旋转台安置在三维平移台上，所述样品基体放置在三维平移台上；工作时，将微波诱导等离子激发源产生的等离子体射流尾焰直接接触进样系统的样品基体，检测系统的检测光采集端对准等离子射流尾焰与样品基体相接触部位，样品中的水分蒸发，样品基体被干燥，并且碳化，将碳化后的样品基体置于等离子体射流的尾焰中烧蚀，使基体燃烧。