[发明专利]玻璃减薄设备在审
| 申请号： | 201510138118.5 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN106145689A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张承逸 | 申请（专利权）人： | MM科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种玻璃减薄设备，更特别地，涉及一种用于更准确地将玻璃变薄以具有目标厚度的玻璃减薄设备。为了提高目标厚度的准确度，在其中对玻璃施加减薄处理的蚀刻区中，设置能够实时测量玻璃厚度的主厚度测量仪。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 设备 | ||
【主权项】：
一种玻璃减薄设备，该玻璃减薄设备包括：腔室，该腔室包括：在加载通道中布置的加载区和冲洗区；蚀刻区，在所述蚀刻区中对沿着所述加载通道加载的玻璃施加减薄处理；以及在卸载通道中布置的冲洗区和卸载区，通过所述卸载通道取出经历过减薄处理的玻璃；匣盒，该匣盒布置成能在所述腔室内移动，并且该匣盒竖直容纳至少一个玻璃片；主厚度测量仪，该主厚度测量仪设置在所述腔室的所述蚀刻区中并且实时测量经历减薄处理的玻璃的厚度；以及控制器，如果由所述主厚度测量仪测得的玻璃厚度达到目标厚度，则所述控制器停止对玻璃进行的减薄处理并且控制所述匣盒沿着所述卸载通道移动。
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