[发明专利]一种关于直线导轨平行度误差的快速测量方法

摘要

一种关于直线导轨平行度误差的快速测量方法，本发明所述的方法是一种间接测量方法，通过激光干涉仪测量、采集直线导轨上若干数据点，通过XD激光测量系统中的直线度数据分析模块，对所采集点的数据进行直线度测量结果分析，即可得到导轨的直线度误差。然后通过XD测量系统中平行度误差分析模块，对两组导轨直线度误差拟合计算，得到导轨的平行度误差。此方法解决了现有测量方法效率低、误差大且数据处理复杂等问题。

主权项

一种关于直线导轨平行度误差的快速测量方法，其特征在于：该方法是一种间接测量方法，首先分别测量两平行导轨的直线度误差，再通过对两导轨直线度误差拟合计算，得到平行度误差；设两平行直线导轨分别为导轨a和导轨b；本发明的实施步骤如下，步骤一 直接测量直线导轨a的直线度误差S1.1规划N个测试采样点S1.2组件安装及光路对准在规划完测试采样点之后，完成对直线度测量的光路图设计、组件安装及光路对准；激光干涉仪直线度测量系统包括激光头、五棱镜、6‑D传感单元、多轴调节夹具；在测量现场中，激光头和五棱镜固定在系统机体上，6‑D传感单元固定在调节夹具上；S1.3数据采集和数据分析全部组件安装完毕之后，进行组件对准以及XD传感器无线收发器的安装；在完成XD系统参数设置之后，便可以进行数据采集；完成数据采集过程后，程序将提示用户数据采集已经完成并保存，这时可利用数据分析功能得到直线度误差测量结果；步骤二 测量直线导轨b的直线度误差直线导轨b的直线度误差测量类似于步骤一，不同的是测量组件安装部分；重复步骤一的步骤测量直线导轨b的直线度误差；步骤三 两平行直线导轨平行度误差间接测量激光干涉仪测量机床导轨平行度是基于激光干涉仪测量直线度的功能来实现的：测量两导轨在同一基准直线条件下各自的直线度误差，两导轨直线度测量完成后，在XD系统中进行平行度分析，经过数据拟合分析即可计算出导轨的平行度误差；在测量x轴方向两条水平导轨直线度时，其测量基准均为激光干涉仪测量直线度附件中双面反射镜的角平分线，这两条角平分线位于同一平面，且相互平行，因此可认为两导轨是以同一基准直线条件下进行的直线度误差测量。