[发明专利]一种光刻胶喷涂设备在审
| 申请号： | 201510139164.7 | 申请日： | 2015-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104808445A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张靓 | 申请（专利权）人： | 南京市雨花台区知识产权促进中心 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05B17/06;B05B12/10;B05B13/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210012 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶喷涂设备，所述的光刻胶喷涂设备包括光刻胶存储器、光刻胶管道、超声波发生器、喷嘴、传输带。在封闭环境中，液态光刻胶储存于光刻胶存储器中，通过输出口进入光刻胶管道内，光刻胶管道附有温度控制器，控制光刻胶的液化状态，光刻胶管道与超声波发生器相连，超声波发生器将光刻胶管道内的液态光刻胶气化后经过喷嘴喷出，受涂布的物品固定在传输带上进行流水式传送，完成整个涂布过程。该系统装备简单易操作，涂布技术先进，涂布效果更均匀，省时省力，为企业节约成本，促进收益增长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 喷涂 设备 | ||
【主权项】：
一种光刻胶喷涂设备，其特征在于：液态光刻胶储存于光刻胶存储器中，通过输出口进入光刻胶管道内，光刻胶管道附有温度控制器，控制光刻胶的液化状态，光刻胶管道与超声波发生器相连，超声波发生器将光刻胶管道内的液态光刻胶气化后经过喷嘴喷出，受涂布的物品固定在传输带上进行流水式传送。
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