[发明专利]对准系统及消除对准系统的电子噪声的方法

摘要

本发明提供了一种对准系统及消除对准系统的电子噪声的方法，通过开启所述对准光源照射位于掩模或掩模基准板上的掩模标记，透射光照射位于工件台基准板上的参考标记中的部分标记形成对准信号通道，所述对准信号通道的对准信号用于获取对准位置，所述参考标记中透射光未照射到的标记形成参考通道，由于参考通道与对准信号通道中电子噪声存在的相关性，利用所述参考通道的暗电流信号消除对准信号通道中的电子噪声，降低了信噪比，提高了对准信号的质量及对准系统的对准精度。

主权项

1.一种对准系统，包括对准光源、位于掩模或掩模基准板上的掩模标记和位于工件台基准板上的参考标记，其特征在于，开启所述对准光源照射掩模标记，透射光照射所述参考标记中的部分标记形成对准信号通道，所述对准信号通道的对准信号用于获取对准位置，所述参考标记中透射光未照射到的标记形成参考通道，所述参考通道的暗电流信号用于消除对准信号通道中的电子噪声；所述消除对准信号通道中的电子噪声为：其中，S_align为所述对准信号，S′_align为消除电子噪声后的对准信号，S_ref为所述暗电流信号，S_align,dark为对准信号通道的平均暗电流值，S_ref,dark为参考通道的平均暗电流值。