[发明专利]一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪的使用方法

摘要

本发明公开了一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪的使用方法，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动角反射镜、测量角反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台，微动角反射镜与测量角反射镜包括一个向内凹陷的直角反射面，微动角反射镜连接在微动平台上；该微动平台优选为压电陶瓷。该改进型角反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台，使微动角反射镜发生位移，配合测量角反射镜、激光源、分光镜、光电探测器，能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分，可以进一步提高该激光干涉仪的测量精度。

主权项

一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪的使用方法，其特征在于，包括角反射镜激光干涉仪，所述角反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、微动角反射镜(3)、测量角反射镜(4)、光电探测器(5)，以及可移动的微动平台(6)，所述微动角反射镜(3)与测量角反射镜(4)均包括有一个向内凹陷的直角反射面，所述微动角反射镜(3)连接在所述微动平台(6)上，所述角反射镜激光干涉仪的使用方法包括以下步骤：步骤一、将所述微动角反射镜(3)固定在所述微动平台(6)上，调整好所述激光源(1)、分光镜(2)、微动角反射镜(3)、测量角反射镜(4)、光电探测器(5)的位置；步骤二、启动所述激光源，所述激光源(1)发出的激光到所述分光镜(2)，经所述分光镜(2)反射后的激光入射至所述微动角反射镜(3)，经所述微动角反射镜(3)反射到所述光电探测器(5)；所述激光源(1)发出的激光到所述分光镜(2)，经所述分光镜(2)透射后入射到所述测量角反射镜(4)，经所述测量角反射镜(4)反射到所述光电探测器(5)，光电探测器(5)可以检测出激光干涉状态，干涉光路调整完成；步骤三、首先将测量角反射镜(4)固定在被测对象的相对距离测量的起始位置，此时控制所述微动平台(6)移动，使微动角反射镜(3)沿激光入射方向移动，当所述光电探测器(5)测得一个激光干涉波时，即最强干涉状态或最弱干涉状态，固定所述微动平台(6)；将所述测量角反射镜(4)在干涉光路方向移动距离d，对应所述光电探测器(5)测得波长为λ的激光干涉波的数量为N，此时根据激光波长λ计算获得所述测量角反射镜(4)的移动距离步骤四、固定所述测量角反射镜(4)，控制所述微动平台(6)移动，使所述微动角反射镜(3)沿所述激光入射的方向移动，当所述光电探测器(5)再次测得一个激光干涉波时，此时微动平台(6)移动距离为l，则可获得所述测量角反射镜(4)在干涉光路方向移动距离中小于激光波长部分的未被检测到的距离Δd为l，由此，可获得步骤三中所述测量角反射镜(4)的移动距离更为精确的值为