[发明专利]一种多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪

摘要

本发明公开了一种多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、移动角反射镜、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器件，阶梯平面角反射镜组包括m个阶梯平面角反射镜与m‑1个常规角反射镜配对组成，m≥2，阶梯平面角反射镜的两个反射阶梯面均由n个阶梯平面构成，相邻两个反射平面间距为k为自然数，常规角反射镜包括成直角的两个反射平面，移动角反射镜包括成直角的两个反射平面。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯型反射平面高度差值有关，该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移，显著提高了测量精度。

主权项

一种多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、阶梯平面角反射镜组(3)、移动角反射镜(4)、光电探测器组(5)，其特征在于：所述激光源(1)包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组(5)包括n个光电探测器件；所述阶梯平面角反射镜组(3)包括m个阶梯平面角反射镜(31)与m‑1个常规角反射镜配(32)对组成，m≥2，每个所述阶梯平面角反射镜(31)具有成直角的两个反射阶梯面，每个所述反射阶梯面包括n个成阶梯型的反射平面，相邻两个反射平面的间距等于其中k为自然数、λ为所述激光源(1)发出的激光波长；所述常规角反射镜(32)包括成直角的两个反射平面，所述移动角反射镜(4)包括成直角的两个反射平面；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)反射后，分别射入对应一个反射平面，每个所述反射平面将每束激光反射到对应的所述光电探测器组(5)的各个光电探测器件；所述激光源(1)发出的每束激光经过所述分光镜(2)透射后，分别入射到所述移动角反射镜(4)后再反射到对应的光电探测器组(5)的各个光电探测器件。