[发明专利]具有退火装置的单晶炉及其控制方法在审
| 申请号： | 201510143737.3 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN104726931A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 高文秀;李帅;赵百通 | 申请（专利权）人： | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人： | 金碎平 |
| 地址： | 214213 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有退火装置的单晶炉及其控制方法，所述单晶炉包括顶部的副腔室与底部的加热腔室，所述副腔室中沿炉壁方向设置有环形加热器，所述环形加热器和副腔室的炉壁之间设有隔热保温层，所述环形加热器上下分别设有可供单晶硅棒穿过的圆环盖板；所述环形加热器的材质为硅钼棒或带有防氧化涂层的石墨板，所述环形加热器的高度范围为15～30cm。本发明通过沿副腔室炉壁方向设置环形加热器，配合上下隔热的圆环盖板和硅棒的提拉丝绳，单晶硅棒拉制收尾后，即可进行浮动区域退火处理，充分利用硅棒余热，退火过程快捷有效，有效节省了热能，完全满足退火过程要求的降温速率快的特点，并对单晶硅棒内的位错具有较好的消除效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 退火 装置 单晶炉 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种具有退火装置的单晶炉，包括顶部的副腔室(8)与底部的加热腔室(7)，其特征在于，所述副腔室(8)中沿炉壁方向设置有环形加热器(4)，所述环形加热器(4)和副腔室(8)的炉壁之间设有隔热保温层(5)，所述环形加热器(4)上下分别设有可供单晶硅棒(2)穿过的圆环盖板(3)。
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