[发明专利]贴合设备

摘要

一种贴合设备，其包含下腔体、多个承载台、多个校正模块、上腔体及检测装置。下腔体具有彼此连通的容置空间及开口。承载台位于容置空间内。校正模块连接承载台，以使承载台相对下腔体位移。上腔体具有板体及固定于板体的固定盘，板体可移动而具有第一及第二位置。于第一位置时，板体与下腔体相隔第一距离；于第二位置时，板体覆盖于开口，以封闭容置空间，固定盘分别对应于承载台。检测装置以可移动方式设置于下腔体旁。当板体于第一位置时，检测装置检测承载台及对应固定盘的相对位置，校正模块驱动承载台位移，以使承载台对位于固定盘。

主权项

1.一种贴合设备，其特征在于，包含：一下腔体，具有一容置空间以及一开口，该开口连通该容置空间；多个承载台，位于该容置空间内；多个校正模块，连接该多个承载台，以使该多个承载台可相对该该下腔体位移；一上腔体，具有一板体以及多个固定盘，该多个固定盘固定于该板体上，该板体以可移动的方式而具有一第一位置以及一第二位置，于该第一位置时，该板体与该下腔体相隔一第一距离，于该第二位置时，该板体覆盖于该开口，以封闭该容置空间，且该多个固定盘分别对应于该多个承载台；以及一检测装置，以可移动的方式设置于该下腔体旁，当该板体于该第一位置时，该检测装置用以检测该多个承载台以及对应的该多个固定盘的相对位置，该多个校正模块驱动该多个承载台位移，以使该多个承载台分别对位于该多个固定盘；一真空装置，该下腔体还具有一通气孔，该真空装置连接于该下腔体的该通气孔，当该板体覆盖于该开口而封闭该容置空间时，该真空装置用以对该容置空间进行抽真空。