[发明专利]一种移动补偿式级联阶梯型角反射镜激光干涉仪及测量方法

摘要

本发明公开了一种移动补偿式级联阶梯型角反射镜激光干涉仪及测量方法，其中干涉仪包括激光源、分光镜、光电探测器组、阶梯型直角反射镜组、移动直角反射镜与微动平台，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测器，阶梯型直角反射镜组由m个阶梯型直角反射镜和m‑1个常规直角反射镜配对组成，m≥2，每个阶梯型直角反射镜的反射面为n个阶梯形反射平面，相邻两个反射平面间距为k为自然数；阶梯型直角反射镜组连接微动平台。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关，还和阶梯形反射平面高度差值有关，通过微动平台作用，可以进一步测量激光干涉波中未被测量到的小数部分，显著提高测量精度。

主权项

一种移动补偿式级联阶梯型角反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、阶梯型直角反射镜组(3)、移动直角反射镜(4)、光电探测器组(5)、微动平台(6)，其特征在于：所述激光源(1)包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组(5)包括n个光电探测器；所述阶梯型直角反射镜组(3)包括m个阶梯型直角反射镜与m‑1个常规直角反射镜配对组成，其中m≥2，每个所述阶梯型直角反射镜的反射面为n个成阶梯形的反射平面，相邻两个所述反射平面间距为其中k为自然数、λ为激光源(1)发出的激光波长；所述阶梯型直角反射镜组(3)中至少一个阶梯型直角反射镜或常规直角反射镜一端连接有可移动微动平台(6)；所述激光源(1)发出的激光经过所述分光镜(2)，经反射后每束激光分别射入所述阶梯型直角反射镜组(3)，经所述阶梯型直角反射镜组(3)内部反射后将激光反射到对应的每个所述光电探测器；所述激光源(1)发出的激光经过所述分光镜(2)，直接透射的每束激光分别入射到所述移动直角反射镜(4)后反射到对应的每个光电探测器。