[发明专利]一种扫描电镜样品的保存方法

摘要

本发明涉及半导体工艺技术领域，本发明提供了一种扫描电镜样品的保存方法，首先提供样品，并将样品放入SEM设备中进行失效分析，接着在分析后的样品表面涂覆用于隔绝空气的保护层，然后将样品放置在大气环境中进行保存，当需要对样品再次进行失效分析时，去除样品表面的保护层，最后将样品放入SEM设备中进行失效分析。本发明提供了一种可靠易行，成本较低的扫描电镜样品的保存方法，解决了现有技术在失效分析过程中，SEM样品表面容易受损或氧化的问题，本领域技术人员采用该方法可提高失效分析的成功率，并降低失效分析的成本。

主权项

1.一种扫描电镜样品的保存方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供样品，将样品去层次至金属铜露出后，将样品放入SEM设备中进行失效分析；其中，失效分析完后，所述样品需进一步去层次，或将样品放置一段时间再进行下一次分析；步骤S2、在失效分析后的所述样品表面涂覆用于隔绝空气的保护层；其中，所述保护层为热熔胶层；步骤S3、将所述样品放置在大气环境中进行保存；步骤S4、在所述样品需进一步去层次，或将样品放置一段时间再进行下一次分析前，去除样品表面的保护层；其中，采用丙酮去除样品表面的热熔胶层或采用湿法刻蚀工艺去除样品表面的保护层；步骤S5、将所述样品放入SEM设备中进行下一次的失效分析。