[发明专利]LED结构及其制造方法在审
| 申请号： | 201510145448.7 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN104766913A | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 张宇;李起鸣;徐慧文 | 申请（专利权）人： | 映瑞光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种LED结构的制造方法。包括：提供前端结构，所述前端结构包括衬底，形成于所述衬底上的氮化镓层；在所述氮化镓层上形成氧化铝层作为保护层。本发明还提供由该方法获得的LED结构。本发明能够提高出光率，获得更好的出光角度，提高了LED结构的外量子效率，提高了LED结构可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | led 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种LED结构的制造方法，包括：提供前端结构，所述前端结构包括衬底，形成于所述衬底上的氮化镓层；通过原子层沉积工艺在所述氮化镓层上形成氧化铝层作为保护层，所述氧化铝层的厚度为![]()
以及在所述氧化铝层上形成硅胶封装层。
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