[发明专利]触控面板及其制造方法、触控显示装置

摘要

本发明提供了一种触控面板及其制造方法、触控显示装置，其中的触控面板包括形成有多行扫描线与多列数据线的基板，基板上设有多个触控单元，包括第一端连接第一偏置电压的电容；采用非晶硅形成有源区的第一晶体管，第一晶体管的源极与漏极中的一个连接第三偏置电压，另一个与电容的第二端相连；采用氧化物半导体形成有源区的第二晶体管，第二晶体管的栅极与一行扫描线相连，源极与漏极中的一个与电容的第二端相连，另一个与一列数据线相连；触控面板在基板上方还设有遮光层，遮光层在与第一晶体管的有源区对应的至少部分区域内设有开口部。本发明可以解决漏电流特性、响应速度和感光能力等方面的限制条件会制约像素开口率提升的问题。

主权项

一种触控面板的制造方法，其特征在于，所述触控面板包括基板，所述基板上形成有多行扫描线与多列数据线，所述多行扫描线与所述多列数据线交叉限定出位于所述基板上的多个触控单元；所述触控面板在所述基板上的任意的一个或两个以上所述触控单元中包括：第一端连接第一偏置电压的电容；采用非晶硅形成有源区的第一晶体管，所述第一晶体管的栅极连接第二偏置电压，所述第一晶体管的源极与漏极中的一个连接第三偏置电压，另一个与所述电容的第二端相连；采用氧化物半导体形成有源区的第二晶体管，所述第二晶体管的栅极与一行所述扫描线相连，所述第二晶体管的源极与漏极中的一个与所述电容的第二端相连，另一个与一列所述数据线相连；所述触控面板在所述基板上方还设有遮光层，所述遮光层在与所述第一晶体管的有源区对应的至少部分区域内设有开口部；所述制造方法，包括：在基板上形成包括第一晶体管的栅极和第二晶体管的栅极的图形；形成包括栅绝缘层的图形；在所述栅绝缘层上与所述第一晶体管的栅极对应的至少部分区域内形成第一晶体管的有源区；在所述栅绝缘层上与所述第二晶体管的栅极对应的至少部分区域内形成第二晶体管的有源区。