[发明专利]基于补偿透镜的大口径凸非球面反射镜的干涉检验方法

摘要

本发明公开了一种基于补偿透镜的大口径凸非球面反射镜的干涉检验方法，首先利用小口径补偿器检测出非球面补偿透镜的透过波前检测的系统误差，然后利用非球面补偿透镜检测大口径凸非球面反射镜的零位补偿干涉检验，得到的检测结果减去前述的系统误差即可得到大口径凸非球面反射镜的面形误差，本发明具有测量口径大、测量精度高的优点。

主权项

一种基于补偿透镜的大口径凸非球面反射镜的干涉检验方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、非球面补偿透镜（3）的透过波前误差检测：沿平面干涉仪（2）的输出光束方向依次放入非球面补偿透镜（3）和小口径补偿器（4），所述平面干涉仪（2）发出的准直光束对准非球面补偿透镜（3）和小口径补偿器（4），对所述非球面补偿透镜（3）的透过波前误差进行零位干涉检验，检验结果存盘为系统误差；S2、大口径凸非球面反射镜（1）的面形误差的检测：在所述非球面补偿透镜（3）与小口径补偿器（4）之间插入大口径凸非球面反射镜（1），对所述大口径凸非球面反射镜（1）的面形误差进行零位补偿干涉检验，检验结果减去步骤S1所得系统误差，得到所述大口径凸非球面反射镜（1）的面形误差；其中，所述小口径补偿器（4）包括沿所述平面干涉仪（2）的准直光束方向依次布置的小透镜（42）和大透镜（41），大透镜41包括面向小透镜42的大透镜前凸面411和大透镜后平面412；所述小口径补偿器（4）的设计参数通过光学设计软件进行优化，以平衡被测的凸非球面凹面（12）的像差为优化目标，优化条件为准直光束从小口径补偿器（4）远离大口径凸非球面反射镜（1）的最后一个表面入射，经过小口径补偿器（4）后变换为与凸非球面凹面（12）匹配的光束垂直入射到凸非球面凹面（12）上，反射后沿原路返回；所述非球面补偿透镜（3）的设计参数通过光学设计软件进行优化，以平衡被测的凸非球面凸面（11）的像差为优化目标，优化条件为大口径准直光束经过非球面补偿透镜（3）后变换为与大口径凸非球面反射镜（1）的凸非球面凸面（11）匹配的光束，垂直入射到凸非球面凸面（11）上，反射后沿原路返回。