[发明专利]具有独立智能控温功能的紫外激光器壳体总成

摘要

本发明涉及具有独立智能控温功能的紫外激光器壳体总成，包括壳体本体，壳体本体的内部空间分割为前腔、后腔和侧腔三部分，前腔与后腔之间设有隔板，前腔、后腔和侧腔的顶面均设有开口，并分别对应配装有带密封胶圈的前腔腔盖、后腔腔盖和侧腔腔盖；后腔底部的第一热交换模块槽内安装有第一热交换模块，后腔内对应第一热交换模块的位置处用于安装紫外激光器的基频激光器；前腔底部的第二热交换模块槽内安装有第二热交换模块，前腔内对应第二热交换模块的位置处用于安装紫外激光器的谐振腔。本发明结构巧妙，设计合理，能对安装在其内部的光学模块和电学模块进行独立智能温控，恒定激光器内部各模块的温度，稳定激光的输出功率和光学质量。

主权项

具有独立智能控温功能的紫外激光器壳体总成，包括壳体本体（1），其特征在于：所述壳体本体（1）的内部空间分割为前腔（9）、后腔（4）和侧腔（7）三部分，前腔（9）与后腔（4）之间设有隔板，前腔（9）、后腔（4）和侧腔（7）的顶面均设有开口，并分别对应配装有前腔腔盖（13）、后腔腔盖（20）和侧腔腔盖（16），前腔腔盖（13）、后腔腔盖（20）和侧腔腔盖（16）均配有密封胶圈；所述后腔（4）底部设有第一热交换模块槽（17），第一热交换模块槽（17）内安装有第一热交换模块（5），后腔（4）内对应第一热交换模块（5）的位置处用于安装紫外激光器的基频激光器；所述前腔（9）底部设有第二热交换模块槽（19），第二热交换模块槽（19）内安装有第二热交换模块（14），前腔（9）内对应第二热交换模块（14）的位置处用于安装紫外激光器的谐振腔; 所述第一热交换模块槽（17）设置在后腔（4）底部内表面上，在第一热交换模块（5）上方依次叠放有激光器TEC制冷片（18）和激光器储热基板（6），激光器TEC制冷片（18）的底部与第一热交换模块（5）的顶部接触，激光器TEC制冷片（18）的顶部与激光器储热基板（6）的底部接触，激光器储热基板（6）固定在后腔（4）的底部内表面上，激光器储热基板（6）上用于安装基频激光器；所述激光器TEC制冷片（18）与TEC电源控温驱动板（8）电连接; 所述第二热交换模块槽（19）设置在前腔（9）底部外表面上，第二热交换模块槽（19）配装有第二热交换模块槽盖板（15）；所述前腔（9）底部内表面上固定安装有LBO晶体TEC制冷片（11），所述LBO晶体TEC制冷片（11）固定在前腔（9）底部内表面上，LBO晶体TEC制冷片（11）上用于安装紫外激光器谐振腔中的LBO晶体；所述LBO晶体TEC制冷片（11）与TEC电源控温驱动板（8）电连接。