[发明专利]光掩膜的缺陷检测系统及光掩膜的缺陷检测方法

摘要

本申请公开了一种光掩膜的缺陷检测系统及光掩膜的缺陷检测方法。其中，该缺陷检测系统包括：缺陷扫描单元，用于检测出光掩膜的表面上的缺陷的坐标值；缺陷分析单元，用于计算出任意两个或两个以上缺陷之间的坐标值的差值，并将沿同一坐标轴方向上的差值小于擦伤缺陷宽度容忍值的各缺陷作为擦伤缺陷。本申请提供的光掩膜的缺陷检测系统和缺陷检测方法能够提高光掩膜的缺陷检测过程中擦伤缺陷的发现几率。

主权项

一种光掩膜的缺陷检测系统，其特征在于，所述缺陷检测系统包括：缺陷扫描单元，用于检测出所述光掩膜的表面上的缺陷的坐标值；缺陷分析单元，用于计算出任意两个或两个以上所述缺陷之间的坐标值的差值，并将沿同一坐标轴方向上的所述差值小于擦伤缺陷宽度容忍值的各所述缺陷作为擦伤缺陷。