[发明专利]椭球面的无像差绝对检验方法

摘要

本发明公开了一种椭球面的无像差绝对检验方法，该方法首先通过球面波干涉仪和球面反射镜，对椭球面的共焦位置进行无像差零位检测，得到检测结果W1、W2；然后通过对球面反射镜的猫眼位置进行两次检测，得到检测结果W3、W4；最后通过T＝(W1‑W2+2W3‑2W4)/4，计算椭球面的面形误差绝对检验结果T，本发明通过四个检验位置完全分离出球面波干涉仪系统误差和球面反射镜的面形误差，获得椭球面的绝对检验结果，具有操作简易和精度高的优点。

主权项

一种椭球面的无像差绝对检验方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：测量：利用球面波干涉仪（2）和球面反射镜（3）对椭球面（1）进行无像差零位检验和猫眼位置检验，具体按以下分步骤执行；S11：所述球面波干涉仪（2）向椭球面（1）发出球面测试波，且球面测试波的球心（4）与椭球面（1）的远焦点f1重合，所述球面反射镜（3）置于球面波干涉仪（2）与椭球面（1）之间，且球面反射镜（3）朝向椭球面（1），球面反射镜（3）的曲率中心（5）与椭球面（1）的近焦点f2重合，进行无像差零位检验并测得第一组数据，并存盘为W1，W1(x,y)=TS(x,y)+2T(x,y)+RS(x,y)；S12：将所述椭球面（1）绕光轴回转180°，其余检验条件保持不变，进行无像差零位检验并测得第二组数据，并存盘为W2，W2(x,y)=TS(x,y)+2T(‑x,‑y)+RS(x,y)；S13：将所述椭球面（1）绕光轴回转‑180°回到原位置，所述球面反射镜（3）向其曲率中心（5）移动，使得球面反射镜（3）的顶点与椭球面（1）的焦点f2重合，进行猫眼位置检验并测得第三组数据，并存盘为W3，W3(x,y)=1/2L(x,y)‑1/2L(‑x,‑y)‑1/2n[TS(x,y)‑TS(‑x,‑y)]‑1/2[TS(x,y)+TS(‑x,‑y)]+[T(x,y)+T(‑x,‑y)]；S14：翻转所述球面反射镜（3）将球面反射镜（3）朝向球面波干涉仪（2），并移动球面反射镜（3），使得其顶点与球面测试波的球心（4）重合，进行猫眼位置检验并测得第四组数据，并存盘为W4，W4(x,y)=1/2L(x,y)‑1/2L(‑x,‑y)‑1/2n[TS(x,y)‑TS(‑x,‑y)]‑1/2[TS(x,y)+TS(‑x,‑y)]；S2：计算所述椭球面（1）的面形误差绝对检验结果T：T=(W1‑W2+2W3‑2W4)/4；其中，TS(x,y)是球面波干涉仪（2）的球面镜头的参考面误差，T(x,y)是被测椭球面（1）的面形误差，RS(x,y)是球面反射镜（3）的面形误差，L(x,y)是球面干涉仪（2）的球面镜头除参考面误差外引入的透过波前误差。