[发明专利]一种全自动晶圆划片机有效
| 申请号： | 201510151054.2 | 申请日： | 2015-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN104690433A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 陶雄兵 | 申请（专利权）人： | 东莞市盛雄激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/08;B23K26/70;B23K101/40 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 何树良 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动晶圆划片机，包括机架，机架的一侧设置有激光器，激光器的下方设置有旋转划片工作台，机架的另一侧设置有自动放收料装置，所述自动放收料装置的旁侧设置有理料机构，自动放收料装置与理料机构之间连接有夹料机械手，理料机构与划片工作台之间设置有两组相互错位的吸料机械手；本发明的全自动晶圆划片机无需人手操作，大大提高设备的工作效率，而且加工前和加工后的晶圆片均放置于自动放收料装置，节省设备的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 划片 | ||
【主权项】：
一种全自动晶圆划片机，包括机架，所述机架的一侧设置有激光器，所述激光器的下方设置有旋转划片工作台，其特征在于：所述机架的另一侧设置有自动放收料装置，所述自动放收料装置的旁侧设置有理料机构，所述自动放收料装置与理料机构之间连接有夹料机械手，所述理料机构与划片工作台之间设置有两组相互错位的吸料机械手。
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