[发明专利]一种在基材上图案化石墨烯的方法及用于所述方法的模板在审
| 申请号： | 201510151533.4 | 申请日： | 2015-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN106148909A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 关有为;唐彬 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光学技术有限公司;深圳欧菲光科技股份有限公司;苏州欧菲光科技有限公司;南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;杨晞 |
| 地址： | 330013 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在基材上图案化石墨烯的方法，所述方法为在具有图案化的金属模板上沉积石墨烯薄膜，之后转移图案化的石墨烯薄膜至基材上获得具有图案化石墨烯薄膜的基材。本申请提供的在基材上图案化石墨烯的方法无需用掩模板对石墨烯薄膜进行刻蚀，只需要在具有预设图案的金属模板上沉积石墨烯薄膜，之后转移至基材衬底，就可以实现在基材上图案化石墨烯的目的。所述方法成本低；生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基材 图案 化石 方法 用于 模板 | ||
【主权项】：
一种在基材上图案化石墨烯的方法，其特征在于，所述方法为在具有图案化的金属模板上沉积石墨烯薄膜，之后转移图案化的石墨烯薄膜至基材上获得具有图案化石墨烯薄膜的基材。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
