[发明专利]带涂层的切削工具及其制造方法

摘要

本发明涉及制造带涂层的切削工具的方法，其中具有至少一个氧化物层的涂层采用PVD法施加到底层。所述方法包括在存在反应气体的情况下，电压脉冲溅射至少一种阴极金属，所述金属选自镁、铝、钪、钇、硅、锌、钛、锆、铪、铬、铌、钽，以及它们的混合物和合金；和沉积至少一个氧化物层至所述基体上，所述氧化物层通过所述反应气体与溅射的阴极金属反应形成。所述阴极金属至少包括铝。一氧化二氮用作所述反应气体。所述至少一个氧化物层为所述至少一种阴极金属的氧化物、混合氧化物或氧化物混合物的形式。

主权项

一种制造带涂层的切削工具的方法，所述切削工具具有基体，以及施加到所述基体的具有至少一个氧化物层的涂层，所述方法包括以下步骤：在存在反应气体的情况下，电压脉冲溅射至少一种阴极金属，所述阴极金属选自镁、铝、钪、钇、硅、锌、钛、锆、铪、铬、铌、钽，以及它们的混合物和合金；和沉积至少一个氧化物层至所述基体上，所述氧化物层通过所述反应气体与溅射的阴极金属反应形成，其中所述阴极金属至少包括铝，其中一氧化二氮，任选地在与氮的混合物中，用作所述反应气体，并且其中所述至少一个氧化物层以所述至少一种阴极金属的氧化物、混合氧化物或氧化物混合物，任选地在与一种或多种所述阴极金属的氧氮化物的混合物中的形式形成。