[发明专利]一种通过高频超声提高粘弹性流体流动性的方法在审
申请号: | 201510152336.4 | 申请日: | 2015-04-01 |
公开(公告)号: | CN104841322A | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 陈云;高健;陈新 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | B01F11/02 | 分类号: | B01F11/02;B01J19/10;H01L21/56 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人: | 黄美成 |
地址: | 510006 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种通过高频超声提高粘弹性流体流动性的方法,利用由超声电源供电的超声变幅杆,在粘弹性流体中引入高频超声波产生大量气泡,并由超声变幅杆产生的剪切运动引爆气泡,从而将缠绕在一起的分子链打散,降低粘弹性流体的粘弹性,提高粘弹性流体的流动性。该方法降低流体的粘弹性是通过打散缠绕在一起的分子链但不会改变分子结构,因此不会改变流体的化学性质;分散的分子链在灌封后随着布朗运动能够逐步重新恢复缠绕状态,因此能够恢复粘弹性流体的高粘弹性,对互连通道进行较好的保护。该方法基于高频超声的剪切运动降低粘弹性流体的粘弹性,不需要高温,因此不会在灌封过程中给芯片引入额外的热应力和变形。 | ||
搜索关键词: | 一种 通过 高频 超声 提高 粘弹性 流体 流动性 方法 | ||
【主权项】:
一种通过高频超声提高粘弹性流体流动性的方法,其特征在于,利用由超声电源供电的超声变幅杆,在粘弹性流体中引入高频超声波产生大量气泡,并由超声变幅杆产生的剪切运动引爆气泡,从而将缠绕在一起的分子链打散,降低粘弹性流体的粘弹性,提高粘弹性流体的流动性。
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